洁净室里产品不良率一上升，工艺、材料、人员、设备要逐项排查，压缩空气往往排在后面。可镇江一家电子厂的教训是：查了一圈，查到气源头上才找到问题。压缩空气里带的微粒，顺着气路到了用气点，落在产品表面，成了不良品的来源。气源含尘平时看不见，粒子计数器一测，数字就摆在那里。
核心要点：洁净室气源含尘，先查进气过滤和管路二次污染：机组进气过滤器、主管路精密过滤器滤芯状态，再看管路材质和施工粉尘。含尘超标时，过滤链和管路要一起查。
尘从哪来
压缩空气里的尘有两个来源。进气带来的尘：机组从车间吸入的空气本身就带微粒，进气过滤器是头一道关，滤芯老化、破损，进气含尘量就上去了。管路二次污染：碳钢管内壁锈蚀，锈渣脱落顺着气流走；管路施工时留下的焊渣、粉尘，吹扫不彻底也会进气路。还有一个点：过滤器外壳密封圈老化，气从旁路漏过去，等于过滤器白装了。洁净室的用气点离产品近，气里的微粒没有缓冲，直接落在产品上。
过滤精度与维护周期
过滤精度按车间洁净等级和用气设备要求来定，主管路精密过滤器和用气点末端过滤器分级配置，精度逐级提高，别指望一只过滤器解决所有问题。滤芯更换周期按压差来定，压差上升说明滤芯容尘量快满了，继续用下去，过滤效率下降，压降还会拖累供气。滤芯更换时，外壳内部要清洁，密封圈同步检查，老化的密封圈一起换掉，不然新滤芯装上去，气还是从旁路漏。
管路二次污染的防范
管路材质上，不锈钢管内壁光滑，不容易积尘和锈蚀，比碳钢管更适合洁净室供气。管路施工时，焊接和切割产生的粉尘要控制，施工后先吹扫管路，用粒子计数器确认洁净度达标再接回用气点。日常维护里，管路低点排水不能省，冷凝水积在管路里，会把管壁上的微粒冲起来，顺着气流走到用气点。新增用气点或改造管路之后，重新做一次气源洁净度确认，别凭经验直接投用。
常见问题
问：洁净室气源含尘超标先查哪里？
答：先查进气过滤器和主管路精密过滤器滤芯，再查管路材质和施工粉尘。过滤链和管路要一起查。
问：过滤器滤芯多久换一次？
答：按压差来定，压差明显上升就该换。更换时清洁外壳内部，同步检查密封圈。
问：管路改造后为什么要重新确认洁净度？
答：施工会带进焊渣和粉尘，吹扫不彻底会进气路。改造后用粒子计数器确认达标再投用。
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